Narishige的EMM2是一種電控馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的超高精度三軸微操作機(jī)器人。它可以以5納米的精度定位自己，但在X、Y和Z軸上移動(dòng)整整3厘米。EMM2是為電生理等高要求應(yīng)用而開發(fā)的，它融合了Narishige液壓系統(tǒng)的平滑操作性和易于使用的游標(biāo)控制，但增加了液壓微操作器所不具備的額外精度和許多有用功能。這種電動(dòng)微操作器專為經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)人員和新手設(shè)計(jì)，確保穩(wěn)定性、再現(xiàn)性和抗漂移性，特別是溫度變化引起的漂移。與EMM-3NV相比，EMM2具有更精細(xì)的5納米最小灰度分辨率；然而，與EMM2的30mm移動(dòng)范圍相比，EMM-3NV在每個(gè)軸上的工作距離范圍更長(zhǎng)，為40mm。這將使EMM2的驅(qū)動(dòng)單元更加緊湊。

垂直方向的EMM2水平方向的EMM2

規(guī)格